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고순도 티타늄 타겟 적용

우리 모두 알고 있듯이 순도는 대상의 주요 성과 지표 중 하나입니다.실제 사용에서는 대상의 순도 요구 사항도 다릅니다.일반 산업용 순수 티타늄에 비해 고순도 티타늄은 가격이 비싸고 적용 범위가 좁습니다.주로 일부 특수 산업의 사용을 충족시키는 데 사용됩니다.그렇다면 고순도 티타늄 타겟의 주요 용도는 무엇입니까?이제 따라해보자 전문가RSM.

 https://www.rsmtarget.com/

고순도 티타늄 타겟의 사용에는 주로 다음 사항이 포함됩니다.

1. 생체재료

티타늄은 비자성 금속으로 강한 자기장에서도 자화되지 않으며 인체와의 친화성이 좋고 부작용이 없으며 인체 이식 장치를 제조하는 데 사용할 수 있습니다.일반적으로 의료용 티타늄 소재는 고순도 티타늄 수준에는 미치지 못하지만, 티타늄에 함유된 불순물의 용해도를 고려하면 임플란트용 티타늄의 순도는 최대한 높아야 한다.고순도 티타늄 와이어가 생물학적 결합재로 사용될 수 있다는 것이 문헌에 언급되어 있습니다.또한, 카테터가 내장된 티타늄 주사바늘도 고순도 티타늄 수준에 도달했습니다.

2. 장식재료

고순도 티타늄은 대기 내식성이 뛰어나고 대기 중에서 장기간 사용해도 색상이 변하지 않아 티타늄 본래의 색상을 유지합니다.따라서 고순도 티타늄은 건축 장식 재료로도 사용할 수 있습니다.또한 최근 몇 년 동안 일부 고급 장식품과 팔찌, 시계, 안경테와 같은 일부 웨어러블 제품이 티타늄으로 만들어지며, 이는 내식성, 변색되지 않음, 장기간 양호한 광택 및 무감작성의 장점을 활용합니다. 인간의 피부.일부 장식에 사용되는 티타늄의 순도는 5N 수준에 도달했습니다.

3. 흡기물질

매우 활성적인 화학적 특성을 지닌 금속인 티타늄은 고온에서 많은 원소 및 화합물과 반응할 수 있습니다.고순도 티타늄은 활성 가스(예:,,CO,, 650 이상의 수증기), 펌프 벽에 증발된 Ti 필름은 흡착 능력이 높은 표면을 형성할 수 있습니다.이 특성으로 인해 Ti는 초고진공 펌핑 시스템에서 게터로 널리 사용됩니다.승화 펌프, 스퍼터링 이온 펌프 등에 사용되는 경우 스퍼터링 이온 펌프의 최종 작동 압력은 PA만큼 낮을 수 있습니다.

4. 전자정보자료

최근에는 반도체 기술, 정보 기술 및 기타 첨단 기술 분야의 급속한 발전으로 인해 스퍼터링 타겟, 집적 회로, DRAM 및 평판 디스플레이에 고순도 티타늄이 점점 더 많이 사용되고 있으며 티타늄의 순도가 요구됩니다. 점점 더.반도체 VLSI 산업에서는 티타늄 실리콘 화합물, 티타늄 질화물 화합물, 텅스텐 티타늄 화합물 등이 제어 전극용 확산 장벽 및 배선 재료로 사용됩니다.이들 재료는 스퍼터링 방식으로 만들어지며, 스퍼터링 방식으로 사용되는 티타늄 타겟은 고순도가 요구되며, 특히 알칼리 금속 원소와 방사성 원소의 함량이 매우 낮다.

위에서 언급한 응용 분야 외에도 고순도 티타늄은 특수 합금 및 기능성 소재에도 사용됩니다.


게시 시간: 2022년 7월 11일