인터넷 시대가 발전하면서 사람들은 전자 제품에 점점 더 의존하게 되었습니다.전자제품은 일반 사람들의 집 어디에서나 볼 수 있습니다.사람들은 전자 제품 없이는 살 수 없습니다.스퍼터링 타겟은 전자 제품에 어떤 용도로 사용됩니까?RSM의 에디터가 함께 학습할 수 있도록 이끌어 줄 것이며,
전자 제품은 모든 계층에서 사용되며, 이러한 전자 제품의 대부분은 시장에 출시되기 전에 코팅을 거쳐야 합니다.현재 일반적으로 사용되는 진공 코팅 장비는 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계입니다.여기서는 스퍼터링에 사용되는 타겟에 대해 살펴보겠습니다.일반적으로 우리는 금속 타겟, 합금 타겟, 복합 타겟의 3가지 유형 이하의 타겟을 사용합니다.
하드디스크에는 다양한 타겟이 사용됩니다.여러 층의 얇은 필름이 기록 표면에 도금됩니다.각 레이어에는 고유한 역할이 있습니다.하단층에는 40nm 두께의 크롬 또는 크롬 합금을 도금하여 접착력과 내식성을 강화합니다.가운데에는 15nm 두께의 코발트 크롬 합금과 35nM 두께의 코발트 합금이 자성재료로 도금된다.이 소재는 자기 특성과 낮은 간섭 특성을 완전히 반영할 수 있습니다.마지막으로 15nm 두께의 탄소 필름이 도금됩니다.
철 니켈 합금은 일반적으로 자기 헤드의 스퍼터링 타겟으로 사용되며 나중에 자기 유전막 층의 고품질 타겟인 질화철, 질화철 탄탈륨, 질화철 알루미늄 등과 같은 일부 새로운 복합 재료가 추가됩니다.
CD 디스크는 플라스틱 작업물의 반사층으로 알루미늄 필름으로 코팅되지만 CDROM 및 DVDROM 디스크의 경우 디스크에 염료층이 있고 그 위에 있는 물질이 알루미늄을 부식시키기 때문에 알루미늄 필름을 사용할 수 없습니다. 일반적으로 금 필름 또는 은 필름으로 대체됩니다.광디스크의 필름층도 여러 개의 층으로 구성되어 있습니다.기록층에 비정질 희토류 전이원소와 혼합된 30nm 두께의 철 코발트 합금으로 도금한 다음 20~100nm 두께의 질화규소 유전층으로 도금하고 마지막으로 알루미늄 필름 반사판으로 도금합니다.
이렇게 얻은 제품은 데이터를 기록할 수 있습니다.이러한 기능을 완성하려면 여전히 다양한 물질에 의해 스퍼터링되는 필름의 특성에 따라 달라집니다.
게시 시간: 2022년 6월 29일