스퍼터링 타겟의 균열은 일반적으로 산화물, 탄화물, 질화물과 같은 세라믹 스퍼터링 타겟과 크롬, 안티몬, 비스무트와 같은 부서지기 쉬운 재료에서 발생합니다.이제 RSM의 기술 전문가들이 스퍼터링 타겟에 균열이 발생하는 이유와 이러한 상황을 피하기 위해 취할 수 있는 예방 조치에 대해 설명하겠습니다.
세라믹 또는 취성 재료 타겟에는 항상 고유 응력이 포함되어 있습니다.이러한 내부 응력은 대상 제조 공정에서 생성됩니다.또한, 이러한 응력은 재료의 고유한 특성으로 인해 어닐링 공정으로 완전히 제거되지 않습니다.스퍼터링 과정에서 가스 이온의 충격은 목표 원자에 운동량을 전달하여 격자에서 분리하기에 충분한 에너지를 제공합니다.이러한 발열 운동량 전달은 목표 온도를 상승시켜 원자 수준에서 1000,000℃에 도달할 수 있습니다.
이러한 열충격은 대상의 기존 내부 응력을 여러 배로 증가시킵니다.이 경우 열이 제대로 방출되지 않으면 타겟이 파손될 수 있습니다.타겟의 균열을 방지하기 위해서는 방열이 강조되어야 합니다.대상에서 원하지 않는 열 에너지를 제거하려면 수냉식 메커니즘이 필요합니다.고려해야 할 또 다른 문제는 전력의 증가입니다.짧은 시간에 너무 많은 전력을 가하면 대상에 열충격이 발생할 수도 있습니다.또한 이러한 타겟을 백플레인에 바인딩하는 것이 좋습니다. 이는 타겟에 대한 지원을 제공할 뿐만 아니라 타겟과 물 사이의 더 나은 열 교환을 촉진할 수도 있습니다.대상에 균열이 있지만 뒷판에 접착된 경우에도 사용할 수 있습니다.
리치특수소재(주)는 백플레인이 포함된 스퍼터링 타겟을 제공할 수 있습니다.재료, 두께 및 접착 유형에 대한 고객의 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.
게시 시간: 2022년 9월 21일