타겟에 대한 시장 수요가 증가함에 따라 합금 타겟, 스퍼터링 타겟, 세라믹 타겟 등과 같은 타겟 종류가 점점 더 많아지고 있습니다. 구리 타겟에 대한 기술적 지식은 무엇입니까?이제 구리 타겟에 대한 기술 지식을 우리와 공유해 보겠습니다.
1. 치수 및 공차 범위 결정
실제 요구에 따라 구리 타겟에는 고정밀 외관 치수가 필요하며 고객 요구 사항에 따라 특정 사양과 편차가 있는 타겟이 제공됩니다.
2. 순도 요구사항
순도 요구 사항은 주로 고객의 사용에 따라 결정되며 고객의 요구에 대한 만족을 기반으로 합니다.
3. 미세구조 요구사항
① 입자 크기: 타겟의 입자 크기는 타겟의 스퍼터링 성능에 영향을 미칩니다.따라서 입자 크기는 주로 고객의 요구 사항을 충족시키기 위해 일련의 단조 열처리를 통해 고객의 사용 요구 사항을 기반으로 합니다.
② 결정 방향 : 구리 타겟의 구조적 특성에 따라 다양한 성형 방법이 채택되며 열처리 공정은 사용자의 요구 사항에 따라 제어됩니다.
4. 외관 품질 요구 사항
타겟 표면에는 사용 불량을 유발하는 요소가 없어야 하며, 고객의 요구 사항에 따라 스퍼터링 공정의 품질이 보장되어야 합니다.
5. 용접본드비율 요건
스퍼터링 전에 구리 타겟을 다른 재료와 용접하는 경우 용접 후 초음파 검사를 수행하여 둘의 비결합 영역이 ≥ 95%인지 확인하고 떨어지지 않고 고출력 스퍼터링 요구 사항을 충족해야 합니다.일체형은 초음파 검사가 필요하지 않습니다.
6. 내부 품질 요구사항
타겟의 사용조건을 고려하여 타겟에는 기공, 함유물 등의 결함이 없어야 합니다.실제 요구사항에 따라 고객과의 협의를 통해 결정됩니다.
타겟의 표면에 먼지나 입자 부착물이 없는지 확인하기 위해 타겟을 철저히 청소한 후 고객의 요구 사항에 따라 직접 진공 포장됩니다.
게시 시간: 2022년 7월 5일