타겟 청소의 목적은 타겟 표면에 있을 수 있는 먼지나 오물을 제거하는 것입니다.이제 Rich Special Material Co., LTD.(RSM)의 편집자가 금속 타겟을 청소하는 4단계에 대해 알려드리겠습니다.
첫 번째 단계는 아세톤에 적신 보푸라기가 없는 부드러운 천으로 청소하는 것입니다.
두 번째 단계는 첫 번째 단계와 유사하며 알코올로 청소합니다.
3단계: 탈이온수로 세척합니다.탈이온수로 세척한 후 타겟을 오븐에 넣고 100℃에서 30분간 건조시킨다.산화물 및 세라믹 타겟은 "보푸라기가 없는 천"으로 청소해야 합니다.
네 번째 단계는 스퍼터링 시스템에서 아크를 형성할 수 있는 모든 불순물 입자를 제거하기 위해 고압, 저수분 가스의 아르곤으로 타겟을 세척하는 것입니다.
참고: 대상을 다룰 때 깨끗하고 보풀이 없는 유지 관리 장갑을 착용하여 손으로 대상과 직접 접촉하는 것을 절대 방지하십시오.
게시 시간: 2022년 6월 24일