내화성 텅스텐 및 텅스텐 합금의 높은 온도 안정성, 높은 전자 이동 저항 및 높은 전자 방출 계수로 인해 고순도 텅스텐 및 텅스텐 합금 타겟은 주로 반도체의 게이트 전극, 연결 배선, 확산 방지층 제조에 사용됩니다. 집적 회로는 재료의 순도, 불순물 원소 함량, 밀도, 입자 크기 및 입자 구조 균일성에 대한 높은 요구 사항을 가지고 있습니다.이제 고순도 텅스텐 타겟 준비에 영향을 미치는 요소를 살펴보겠습니다.
1. 소결 온도의 영향
텅스텐 타겟 배아의 형성 과정은 일반적으로 냉간 등압 성형에 의해 이루어집니다.텅스텐 입자는 소결 과정에서 성장합니다.텅스텐 입자의 성장은 입자 경계 사이의 간격을 채워 텅스텐 타겟의 밀도를 향상시킵니다.소결 시간이 증가함에 따라 텅스텐 타겟 밀도의 증가는 점차 느려집니다.주된 이유는 다중 소결 후에도 텅스텐 타겟의 품질이 크게 변하지 않았기 때문입니다.결정립계의 대부분의 공극은 텅스텐 결정으로 채워져 있기 때문에 각 소결 후에 텅스텐 타겟의 전체 크기 변화율은 매우 작아서 텅스텐 타겟의 밀도가 증가할 수 있는 공간이 제한됩니다.소결 공정을 통해 성장된 텅스텐 입자가 공극에 채워져 입자 크기가 작아지고 밀도가 높아지는 타겟이 생성됩니다.
2、 유지 시간의 영향
동일한 소결 온도에서 소결 유지 시간이 길어지면 텅스텐 타겟의 치밀성이 향상됩니다.유지 시간이 길어지면 텅스텐 입자 크기가 증가하고 유지 시간이 길어지면 입자 크기의 성장 시간이 점차 느려지므로 유지 시간을 늘리면 성능도 향상될 수 있습니다. 텅스텐 타겟.
3, 롤링이 대상 속성에 미치는 영향
텅스텐 타겟재의 밀도를 향상시키고 텅스텐 타겟재의 가공 구조를 얻기 위해서는 텅스텐 타겟재의 중온 압연이 재결정 온도 이하에서 이루어져야 한다.대상 빌렛의 압연 온도가 높으면 대상 빌렛의 섬유 구조가 거칠어지고 그 반대도 마찬가지입니다.온간압연율이 95% 이상일 때.서로 다른 원래 입자 또는 서로 다른 압연 온도로 인한 섬유 구조의 차이는 제거되지만 타겟의 내부 구조는 비교적 균일한 섬유 구조를 형성하므로 온간 압연 가공 속도가 높을수록 타겟의 성능이 좋아집니다.
게시 시간: 2023년 2월 15일