진공코팅이란 증발원을 진공상태에서 가열, 증발시키거나 가속이온충격으로 스퍼터링하여 기판의 표면에 증착시켜 단층 또는 다층막을 형성하는 것을 말한다.진공코팅의 원리는 무엇인가요?다음으로 RSM 편집자가 이를 소개하겠습니다.
1. 진공증착코팅
증발 코팅은 증발원의 증기 분자 또는 원자와 코팅할 기판 사이의 거리가 코팅실의 잔류 가스 분자의 평균 자유 경로보다 작아야 합니다. 증발은 충돌 없이 기판 표면에 도달할 수 있습니다.필름이 순수하고 단단하며 증발이 산화되지 않는지 확인하십시오.
2. 진공 스퍼터링 코팅
진공에서 가속된 이온이 고체와 충돌하면 한편으로는 결정이 손상되고, 다른 한편으로는 결정을 구성하는 원자와 충돌하여 최종적으로 고체 표면의 원자나 분자와 충돌하게 됩니다. 바깥쪽으로 스퍼터링.스퍼터링된 물질을 기판에 도금하여 박막을 형성하는 것을 진공 스퍼터링 도금이라고 합니다.스퍼터링 방법에는 여러 가지가 있으며 그 중 다이오드 스퍼터링이 가장 초기의 방법입니다.다양한 음극 타겟에 따라 직류(DC)와 고주파(RF)로 나눌 수 있습니다.이온이 타겟 표면에 충돌하여 스퍼터링되는 원자의 수를 스퍼터링 속도라고 합니다.스퍼터링 속도가 높아 성막 속도가 빠릅니다.스퍼터링 속도는 이온의 에너지와 유형, 타겟 물질의 유형과 관련이 있습니다.일반적으로 스퍼터링 속도는 인간 이온 에너지가 증가함에 따라 증가하며, 귀금속의 스퍼터링 속도는 더 높습니다.
게시 시간: 2022년 7월 14일