티타늄 알루미늄 합금은 진공 증착용 합금 스퍼터링 타겟입니다.이 합금의 티타늄과 알루미늄 함량을 조정하면 다양한 특성을 지닌 티타늄 알루미늄 합금 타겟을 얻을 수 있습니다.티타늄 알루미늄 금속간 화합물은 내마모성이 우수한 단단하고 부서지기 쉬운 재료입니다.일반 절삭 공구의 표면에 티타늄 알루미늄 금속간 화합물 층으로 코팅되어 공구의 수명을 효과적으로 연장할 수 있습니다.질소 방전 아크 시작으로 스퍼터링을 수행하면 경도가 높고 마찰 계수가 낮은 표면 마스크를 얻을 수 있으며, 이는 특히 다양한 도구, 금형 및 기타 취약 부품의 표면 코팅에 적합합니다.따라서 가공 산업에서 좋은 응용 전망을 가지고 있습니다.
티타늄 알루미늄 합금 타겟의 준비는 상대적으로 어렵습니다.티타늄 알루미늄 합금의 상태도에 따르면 티타늄과 알루미늄 사이에 다양한 금속간 화합물이 형성되어 티타늄 알루미늄 합금의 가공 취성을 초래할 수 있습니다.특히 합금 중의 알루미늄 함량이 50%(원자비)를 초과하면 합금의 내산화성이 급격히 감소하여 산화가 심해진다.동시에, 합금 공정 중 발열 팽창으로 인해 기포, 수축 기공 및 다공성이 쉽게 생성되어 합금의 다공성이 높아지고 대상 재료의 밀도 요구 사항을 충족할 수 없게 됩니다.티타늄 알루미늄 합금을 제조하는 방법에는 두 가지 주요 방법이 있습니다.
1, 강한 전류 가열 방식
이 방법은 티타늄 분말과 알루미늄 분말을 가열하고 압력을 가하여 알루미늄과 티타늄을 반응시켜 티타늄 알루미늄 합금 타겟을 형성하는 고전류를 얻을 수 있는 장치를 사용합니다.이 방법으로 제조된 티타늄 알루미늄 합금 타깃 제품의 밀도는 >99%이고, 결정립 크기는 100μm 이하이다.순도>99%.티타늄 알루미늄 합금 타겟재의 조성 범위는 티타늄 함량이 5% ~ 75%(원자비)이고 나머지가 알루미늄 함량입니다.이 방법은 비용이 저렴하고 제품 밀도가 높으며 대규모 산업 생산의 요구 사항을 완전히 충족할 수 있습니다.
2, 열간 등방압 프레싱 소결 방법
이 방법은 티타늄 분말과 알루미늄 분말을 혼합한 후 분말 로딩, 냉간 등방압 프레싱, 탈기 공정, 열간 등방압 프레싱 성형을 거친다.마지막으로, 티타늄 알루미늄 합금 타겟을 얻기 위해 소결 및 가공이 수행됩니다.이 방법으로 제조된 티타늄 알루미늄 합금 타겟은 밀도가 높고, 기공이 없고, 다공성과 편석이 없고, 조성이 균일하고, 입자가 미세한 특성을 갖는다.열간 등압 성형법은 현재 코팅 산업에서 요구되는 티타늄 알루미늄 합금 스퍼터링 타겟을 준비하는 주요 방법입니다.
게시 시간: 2023년 5월 10일