많은 사용자들이 전문적인 관점에서 타겟 구매를 고려하지 않는데, 타겟 구매 시 주의해야 할 점은 무엇인가요?베이징 서이치의 소변에게 목표물을 구매할 때 주의해야 할 사항을 지적해 달라고 요청하자.
첫째, 타겟의 경우 순도는 주요 기능 지표 중 하나이며 타겟의 순도는 이후 제품 필름의 기능에 큰 영향을 미칩니다.또한 제품마다 대상의 순도에 대한 요구 사항이 다릅니다.
둘째, 대상의 개별 원소의 불순물 함량입니다.일련의 타겟 처리 후 타겟 고체의 불순물과 기공의 산소 및 수증기가 증착된 필름의 주요 오염원입니다.타겟의 용도가 다르기 때문에 용도가 다른 타겟의 불순물 함량에 대한 요구 사항도 다릅니다.예를 들어, 반도체 산업에 사용되는 순수 알루미늄 및 알루미늄 합금 타겟에는 이제 알칼리 금속 및 방사성 원소 함량에 대한 특별한 요구 사항이 있습니다.
밀도 역시 타겟의 중요한 성능 지표 중 하나입니다. 타겟의 기술적 공정에서 타겟 고체의 기공을 줄이고 스퍼터링된 필름의 기능을 향상시키기 위해 일반적으로 타겟의 밀도가 높아야 합니다.타겟의 주요 특성 밀도는 스퍼터링 속도에 큰 영향을 미치며 필름의 전기적, 광학적 기능에 영향을 미칩니다.목표 밀도가 높을수록 필름의 기능이 좋아집니다.
마지막으로 입자 크기와 입자 분포입니다.일반적으로 타겟 물질은 다결정질이며 입자 크기는 미크론에서 밀리미터까지 다양합니다.동일한 타겟의 경우 미세 입자 타겟의 스퍼터링 속도가 거친 타겟의 스퍼터링 속도보다 빠릅니다.작은 입자 크기 차이(균일한 분산)를 갖는 타겟 스퍼터링에 의해 증착된 필름의 두께가 더 균일합니다.
게시 시간: 2022년 6월 10일