1, 스퍼터링 준비
진공 챔버, 특히 스퍼터링 시스템을 깨끗하게 유지하는 것이 매우 중요합니다.윤활유, 먼지 및 이전 코팅으로 인해 형성된 잔여물은 수증기 및 기타 오염 물질을 모아 진공도에 직접적인 영향을 미치고 필름 형성 실패 가능성을 높입니다.단락 또는 타겟 아크, 거친 필름 표면 및 과도한 화학적 불순물 함량은 종종 깨끗하지 않은 스퍼터링 챔버, 스퍼터링 건 및 타겟으로 인해 발생합니다.코팅의 조성 특성을 준수하려면 스퍼터링 가스(아르곤 또는 산소)를 세척하고 건조해야 합니다.기판이 스퍼터링 챔버에 설치된 후 공정에 필요한 진공에 도달하려면 공기를 추출해야 합니다.어두운 영역의 차폐 커버, 캐비티 벽 및 인접 표면도 깨끗하게 유지해야 합니다.진공 챔버를 청소할 때 유리 볼 샷 블라스팅을 사용하여 먼지가 많은 부품을 처리하고 압축 공기와 함께 챔버 주변의 초기 스퍼터링 잔여물을 제거한 다음 알루미나를 함침한 사포로 외부 표면을 조용히 연마하는 것을 권장합니다.거즈지를 연마한 후 알코올, 아세톤, 탈이온수로 세척합니다.아울러 보조 청소를 위한 산업용 진공청소기의 사용을 옹호합니다.Gaozhan 금속에서 생산된 타겟은 진공 밀봉된 비닐 봉지에 포장되어 있으며,
방습제 내장.타겟을 사용할 때 타겟을 직접 손으로 만지지 마십시오.참고: 대상을 사용할 때는 깨끗하고 보풀이 없는 유지 관리 장갑을 착용하십시오.손으로 대상을 직접 만지지 마십시오.
2、 타겟 청소
타겟 청소의 목적은 타겟 표면에 존재할 수 있는 먼지나 오물을 제거하는 것입니다.
금속 타겟은 4단계로 청소할 수 있습니다.
첫 번째 단계는 아세톤에 적신 보푸라기가 없는 부드러운 천으로 청소하는 것입니다.
두 번째 단계는 첫 번째 단계와 유사하며 알코올로 청소합니다.
3단계: 탈이온수로 세척합니다.탈이온수로 세척한 후 타겟을 오븐에 넣고 100℃에서 30분간 건조시킵니다.
산화물 및 세라믹 타겟의 청소는 "보풀이 없는 천"을 사용하여 수행해야 합니다.
네 번째 단계는 먼지가 많은 부분을 제거한 후 고압, 저수분 가스로 아르곤으로 타겟을 세척하여 스퍼터링 시스템에서 아크를 형성할 수 있는 모든 불순물 입자를 제거하는 것입니다.
3、 대상 장치
타겟 설치 과정에서 Z 중요한 예방 조치는 타겟과 스퍼터링 건의 냉각 벽 사이의 양호한 열 전도 연결을 보장하는 것입니다.냉각스테이브의 휘어짐이 심하거나 백플레이트의 휘어짐이 심하면 타겟 장치가 깨지거나 휘어지게 되며, 백 타겟에서 타겟까지의 열전도도에 큰 영향을 주어 방열 불량이 발생하게 됩니다. 스퍼터링 과정에서 타겟이 깨지거나 놓칠 수 있습니다.
열 전도성을 보장하기 위해 음극 냉각 벽과 타겟 사이에 흑연 종이 층을 채울 수 있습니다.O-링이 항상 제 위치에 있는지 확인하기 위해 사용되는 스퍼터링 건의 냉각벽의 평탄도를 주의 깊게 확인하고 명확하게 하십시오.
사용되는 냉각수의 청정도와 장비의 작동 중 발생할 수 있는 먼지는 음극냉각수탱크에 쌓이게 되므로 타겟 설치 시 음극냉각수탱크를 점검하고 청소하여 원활한 작동을 보장할 필요가 있습니다. 냉각수 순환이 원활하고 입구와 출구가 막히지 않도록 합니다.
일부 음극은 양극과 작은 공간을 갖도록 계획되어 있으므로 대상을 설치할 때 음극과 양극 사이에 접촉이나 도체가 없는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 단락이 발생합니다.
타겟을 올바르게 작동하는 방법에 대한 정보는 장비 작동 설명서를 참조하십시오.사용자 설명서에 해당 정보가 없는 경우 Gaozhan metal에서 제공한 관련 제안에 따라 장치를 설치해 보십시오.타겟 고정구를 조일 때 먼저 볼트 하나를 손으로 조인 다음 대각선에 있는 다른 볼트도 손으로 조이십시오.장치의 모든 볼트가 조여질 때까지 이를 반복한 다음 무언가로 조이십시오.
4, 단락 및 견고성 검사
대상 장치가 완성된 후에는 전체 음극의 단락 및 견고성을 확인해야 하며,
저항계를 사용하여 음극에 단락이 있는지 확인하는 것이 좋습니다.
행 차별.음극에 단락이 없는지 확인한 후 누출 감지를 수행하고 음극에 물을 유입하여 누수가 있는지 확인할 수 있습니다.
5, 타겟 사전 스퍼터링
타겟 프리 스퍼터링은 타겟 표면을 청소할 수 있는 순수 아르곤 스퍼터링을 옹호합니다.타겟이 사전 스퍼터링될 때 스퍼터링 출력을 천천히 증가시키는 것이 권장되며 세라믹 타겟의 출력 증가율은 1.5WH/cm2입니다.금속 타겟의 사전 스퍼터링 속도는 세라믹 타겟 블록보다 높을 수 있으며 합리적인 전력 증가율은 1.5WH/cm2입니다.
사전 스퍼터링 과정에서 타겟의 아크를 확인해야 합니다.사전 스퍼터링 시간은 일반적으로 약 10분입니다.아크 현상이 없으면 스퍼터링 파워를 지속적으로 높입니다.
설정된 힘으로.경험에 따르면 금속 타겟의 허용 가능한 Z 높은 스퍼터링 파워는 다음과 같습니다.
세라믹 타겟의 경우 25watts / cm2, 10watts / cm2.스퍼터링 시 진공챔버 압력의 설정기준 및 경험은 사용자 시스템 운용 매뉴얼을 참조하시기 바랍니다.일반적으로 냉각수 출구의 수온은 35℃보다 낮아야 하지만 냉각수 순환 시스템이 효과적으로 작동할 수 있도록 보장하는 것이 중요합니다.
과냉각수의 빠른 순환은 열을 제거하는데, 이는 높은 전력으로 지속적인 스퍼터링을 보장하는 중요한 보증입니다.금속 타겟의 경우 일반적으로 냉각수 흐름이 다음과 같이 권장됩니다.
20lpm 수압은 약 5gmp입니다.세라믹 타겟의 경우 일반적으로 수류는 30lpm, 수압은 약 9gmp가 권장됩니다.
6、 목표 유지
스퍼터링 공정에서 불결한 캐비티로 인한 단락 및 아크를 방지하기 위해서는 스퍼터링 트랙의 중앙과 양쪽에 쌓인 스퍼터를 단계적으로 제거해야 하며,
이는 또한 사용자가 z 높은 전력 밀도에서 지속적으로 스퍼터링하는 데 도움이 됩니다.
7、 대상 스토리지
Gaozhan metal이 제공하는 타겟은 이중 진공 비닐 봉투에 포장되어 있습니다.우리는 사용자가 금속이든 세라믹이든 대상을 진공 포장에 보관할 것을 권장합니다.특히, 접합층의 산화가 접합 품질에 영향을 미치지 않도록 접합 대상을 진공 상태에서 보관해야 합니다.금속 타겟의 포장과 관련하여 Z는 깨끗한 비닐봉지에 포장되어야 한다고 주장합니다.
게시 시간: 2022년 5월 13일