산업 기술의 발전과 함께 산업 생산에 필요한 타겟의 품질도 점점 더 높아지고 있습니다. 타겟의 품질이 마그네트론 스퍼터링 필름의 성능에 직접적인 영향을 미치기 때문입니다.요즘 기업에서는 일반적으로 타겟을 구매할 때 스퍼터링 코팅을 위해 균일한 구성 구조를 가진 고밀도 타겟을 사용하여 타겟의 다중 스티칭을 줄이고 스퍼터링 코팅의 품질을 향상시키는 것을 선호합니다. 따라서 이는 타겟 제조업체가 엄격하게 수행해야 하는 사항입니다. 목표의 품질을 제어하십시오. 이제 베이징 편집장을 보자리치마트어떤 요소가 목표의 품질에 영향을 미치는지 이해하도록 도와줍니다..
1、공정 매개변수가 목표 품질에 미치는 영향
공정 매개변수에는 주로 냉간 압착 압력, 가압 속도, 탈형 속도 및 기타 매개변수가 포함됩니다..대상을 냉간 압착하면 압력이 대상 블랭크의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.가압 속도는 타겟 블랭크의 성층화에 큰 영향을 미치며 네거티브 몰드에 분말이 균일하게 충전되는 초기 상태는 느슨한 상태로 기공과 가스가 많고 가스 배출에 시간.
2、그만큼목표 품질에 대한 곰팡이의 영향
금형은 또한 대상 블랭크의 형성에 일정한 영향을 미칩니다.주요 영향 요인에는 금형 내부의 표면 마감, 펀치와 금형 캐비티 사이의 간격 등이 포함됩니다. 간격이 너무 크면 분말 유출 및 분말 누출이 발생하여 한계 밀도가 됩니다. 블랭크가 낮고 탈형 중 가장자리가 떨어지는 등의 품질 문제가 있습니다.
3、재료 수분 함량이 대상 품질에 미치는 영향
표적물질의 분말에 함유된 수분은 윤활제의 효과와 동일하며, 그 존재는 입자간의 마찰을 감소시켜 냉압압력의 효과적인 전달에 도움이 되며, 또한 매끄러운 미끄러짐과 매끄러운 미끄러짐에 도움이 됩니다. 분말 입자 사이의 재배열.그러나 수분 함량이 너무 적거나 너무 많으면 대상의 품질에 영향을 미칩니다.
ITO 분말의 수분 함량이 2% 미만인 경우 냉간 압착 압력 및 바인더 함량 등 다른 조건이 동일할 경우 타겟 물질의 모서리 손실 및 박리 등의 품질 문제가 발생할 확률이 크게 높아집니다. ITO 분말의 함량이 10% 이상이며 동일한 냉간 압착 압력, 바인더 함량 및 기타 조건에서 분말 입자가 더 쉽게 미끄러지고 재배열되지만 물이 금형 내부에서 배출되어 떨어지는 문제가 발생합니다. 대상 물질의 블랭크 주변 가장자리.결과는 분말의 수분 함량이 3%에서 6% 사이일 때 블랭크의 품질이 효과적으로 제어된다는 것을 보여줍니다.
4、바인더 함량이 목표 품질에 미치는 영향
결합제의 양은 대상 물질의 품질에 큰 영향을 미칩니다.혼입량이 1% 미만이면 타겟 블랭크의 품질에 매우 심각한 문제가 발생하게 되며, 이때 바인더의 효과가 나타나지 않아 타겟 블랭크의 강도 향상 효과가 거의 없다. 바인더 혼입량을 2%, 3%로 증가시키면 타겟재의 강도가 향상되어 타겟재의 품질 문제가 대폭 감소됩니다.그러나 바인더를 4%까지 혼입시키면 타겟재의 냉간압착 블랭크의 품질 문제는 사라지지만, 후속 탈형 과정에서 타겟재가 박리되는 경우가 있다.
게시 시간: 2022년 4월 22일