금속 표적은 충격을 받는 고속 에너지 운반 입자의 의도된 재료를 나타냅니다.또한, 다양한 타겟 재료(예: 알루미늄, 구리, 스테인레스 스틸, 티타늄, 니켈 타겟 등)를 교체하여 다양한 필름 시스템(예: 초경질, 내마모성, 부식 방지 합금 필름 등)을 구현할 수 있습니다. 획득.시대의 발전에 따라 티타늄-알루미늄 합금 타겟을 환영하는 새로운 구성원으로 대가족에 많은 새로운 재료 타겟이 등장했습니다.
티타늄-알루미늄 합금 타겟은 티타늄-알루미늄 합금을 원료로 한 타겟이다.일반적으로 은백색이며 강도가 높고 융점이 높다는 장점이 있습니다.그렇다면 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 실습은 무엇입니까?
지금까지 대규모 국제 제조업체에서는 티타늄-알루미늄 합금 타겟 제조에 이 두 가지 방법을 채택했습니다.하나는 주조법을 이용하여 잉곳을 제조한 후, 주조 공정에서 타겟을 제조하는 것이다.다른 하나는 스프레이 형태의 티타늄-알루미늄 합금 타겟으로 만들어졌습니다.
이 방법으로 유명한 주조법은 알루미늄합금 스퍼터링 타깃을 제조하는 과정에서 합금을 자주 첨가하는 중요한 공정으로 인해 알루미늄합금 타깃재질에 편석이 발생하고 이에 의해 얻어지는 피막의 품질이 저하된다는 것이다. 스퍼터링은 높지 않습니다., 스퍼터링 타겟의 표면은 필름 특성의 균일성에 영향을 미치는 작은 입자가 발생하기 쉽습니다.2차 용사성형법으로 제조된 티타늄-알루미늄 합금 타겟트는 위와 같은 상황을 방지할 수 있으나, 타겟의 제조원가가 크게 증가하게 된다.
특히, 주조가 어려운 물체를 제작하는 경우에는 열간 균압 타겟을 사용해야 하며, 열간 균압을 사용하므로 비용이 증가한다.
티타늄-알루미늄 합금 타겟의 위의 두 가지 전통적인 방법 외에도 오늘날 간단하고 저렴한 방법이 도입되었습니다.스프레이 파우더를 이용한 티타늄-알루미늄 합금 타겟 제조.
아래에서는 Beijing Ruichi의 편집자가 티타늄 알루미늄 합금 타겟의 제조 방법을 여러분과 공유할 것입니다.
1. 첫 번째 원칙
이 방법의 주된 원리는 에어로졸법을 이용하여 합금 조성비로 타겟의 원료분말을 제조하는 것이다.그런 다음 합금 분말을 체질하여 적절한 분말 입자 크기를 얻습니다.그 다음, 얻은 분말을 진공 열간 프레스에 사용하여 타겟을 형성합니다.
2. 주요 장점
이 제조방식의 장점은 알루미늄, 크롬 등 다양한 알루미늄 합금 타겟을 제조할 수 있다는 점이다.알루미늄, 실리콘, 구리 알루미늄, 티타늄 등 둘째, 이 접근 방식은 재료 분리 및 미세 입자 결함을 방지하여 고품질 티타늄-알루미늄 합금 타겟을 더 빠르고 경제적으로 제작할 수 있습니다.
3. 구현 과정
이 방법의 올바른 구현 프로세스는 먼저 알루미늄 합금 타겟을 만들기 위한 금속 원료를 제공하는 것입니다.그런 다음 이러한 금속 공급원료를 금속 용액에 녹입니다.그런 다음, 금속 용액은 에어로졸에 의해 금속 분말로 만들어집니다.그 후, 진공 열간 프레스에 의해 금속분말 타겟을 형성하고, 불활성 가스를 보호가스로 사용한다.
게시 시간: 2022년 4월 27일