스퍼터링 타겟 재료 선택에 있어서 진공 도금은 현재 사람들에게 이슈가 되고 있는데, 스퍼터링 코팅, 특히 마그네트론 스퍼터링 코팅 기술의 발전은 박막의 재료 준비를 타겟으로 할 수 있는 모든 정보라고 할 수 있습니다. 이온 충격에 의한 스퍼터링 타겟 재료는 기판 종류에 따라 코팅하는 과정에서 스퍼터링 필름의 품질에 중요한 영향을 미치므로 타겟 재료 요구 사항이 더욱 엄격해집니다.여기에서는 Beijing Relaxation의 편집자와 함께 진공 코팅에서 스퍼터링 타겟의 역할에 대해 알아봅니다.
一、표적물질의 선정원리 및 분류
타겟 재료를 선택할 때 필름 자체의 용도를 선택하는 것 외에도 다음과 같은 문제도 고려해야 합니다.
문제 1. 멤브레인의 용도 및 성능 요구 사항에 따라 타겟 재료의 순도, 탄창 함량, 구성 요소 균일성, 가공 정확도 등의 기술적 요구 사항을 충족해야 합니다.
문제 2. 타겟 물질은 성막 후 기계적 강도와 화학적 안정성이 좋아야 합니다.
문제 3. 반응성 스퍼터링 필름인 반응 가스와 쉽게 복합 필름을 생성할 수 있는 필름 재료가 필요합니다.
문제 4. 타겟과 매트릭스를 강하게 설정해야 합니다. 그렇지 않으면 매트릭스와 잘 접착되는 필름 재료를 채택해야 합니다. 먼저 바닥 필름 층을 스퍼터링한 다음 필요한 필름 층을 준비해야 합니다.
질문 5. 필름의 성능 요구 사항을 충족한다는 전제하에 타겟과 매트릭스의 열팽창 계수 차이가 작을수록 스퍼터링 필름의 열 응력 영향을 줄이는 것이 좋습니다.
일반적으로 사용되는 여러 표적 준비
(1) cr 타겟
스퍼터링 필름 재료인 크롬은 기본 재료와 결합하기 쉬울 뿐만 아니라 접착력이 높으며 크롬 및 산화물 CrQ3 필름은 기계적 특성, 내산성 및 열 안정성이 더 좋습니다.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd.는 주로 다음 분야에 종사하고 있습니다: 티타늄 타겟, 지르코늄 타겟, 알루미늄 타겟, 니켈 타겟, 크롬 타겟, 텅스텐 타겟, 몰리브덴 타겟, 구리 타겟, 실리콘 타겟, 니오브 타겟, 탄탈륨 타겟, 티타늄-실리콘 합금 타겟, 티타늄-니오븀 합금 타겟, 티타늄-텅스텐 합금 타겟, 티타늄-지르코늄 합금 타겟, 니켈-크롬 합금 타겟, 실리카-알루미늄 합금 타겟, 니켈-바나듐 합금 타겟, 크롬-알루미늄-실리콘 3원 합금 타겟, Ti al si 장식/단단한 표면 및 기능성 코팅, 건축 유리, 평면 디스플레이/광전 광전, 광학 저장, 전자, 인쇄 및 기타 직업에 널리 사용되는 삼원 합금 타겟 재료.
게시 시간: 2022년 6월 2일