마그네트론 스퍼터링 코팅은 새로운 물리적 증기 코팅 방법으로, 이전 증발 코팅 방법과 비교하여 여러 측면에서 그 장점이 상당히 뛰어납니다.성숙한 기술로서 마그네트론 스퍼터링은 다양한 분야에 적용되었습니다.
마그네트론 스퍼터링 원리:
스퍼터링된 타겟 극(음극)과 양극 사이에 직교 자기장과 전기장이 추가되고 필요한 불활성 가스(일반적으로 Ar 가스)가 고진공 챔버에 채워집니다.영구자석은 타겟물질의 표면에 250~350가우스의 자기장을 형성하며, 직교 전자기장은 고전압 전기장으로 구성됩니다.전기장의 영향으로 Ar 가스 이온화는 양이온과 전자로 이루어지며, 목표는 특정 음압을 가지며, 자기장의 효과와 작업 가스 이온화 확률 증가로 인해 목표에서 극으로부터 목표 근처에 고밀도 플라즈마를 형성합니다. 로렌츠 힘의 작용으로 음극, Ar 이온이 속도를 높여 표적 표면으로 날아가고 고속으로 표적 표면에 충격을 가합니다. 표적에 스퍼터링된 원자는 운동량 변환 원리를 따르고 높은 운동으로 표적 표면에서 멀리 날아갑니다. 기판 증착 필름에 에너지를 공급합니다.
마그네트론 스퍼터링은 일반적으로 DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링의 두 가지 종류로 구분됩니다.DC 스퍼터링 장비의 원리는 간단하며, 금속 스퍼터링 시 속도가 빠릅니다.RF 스퍼터링의 사용은 전도성 재료의 스퍼터링뿐만 아니라 비전도성 재료의 스퍼터링뿐만 아니라 산화물, 질화물, 탄화물 및 기타 복합 재료의 반응성 스퍼터링 준비 외에도 더욱 광범위합니다.RF의 주파수가 증가하면 마이크로파 플라즈마 스퍼터링이 됩니다.현재 전자 사이클로트론 공명(ECR) 방식의 마이크로파 플라즈마 스퍼터링이 일반적으로 사용됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅 타겟 재료:
금속 스퍼터링 타깃 재료, 코팅 합금 스퍼터링 코팅 재료, 세라믹 스퍼터링 코팅 재료, 붕화물 세라믹 스퍼터링 타깃 재료, 탄화물 세라믹 스퍼터링 타깃 재료, 불화물 세라믹 스퍼터링 타깃 재료, 질화물 세라믹 스퍼터링 타깃 재료, 산화물 세라믹 타깃, 셀렌화물 세라믹 스퍼터링 타깃 재료, 규화물 세라믹 스퍼터링 타겟 재료, 황화물 세라믹 스퍼터링 타겟 재료, 텔루라이드 세라믹 스퍼터링 타겟, 기타 세라믹 타겟, 크롬 도핑된 산화규소 세라믹 타겟(CR-SiO), 인듐 인화물 타겟(InP), 납 비소 타겟(PbAs), 인듐 비소 타겟(InAs).
게시 시간: 2022년 8월 3일