텅스텐 규화물

텅스텐 규화물 WSi2는 마이크로 전자공학의 감전 재료, 폴리실리콘 와이어 션팅, 산화 방지 코팅 및 저항 와이어 코팅으로 사용됩니다.텅스텐 규화물은 저항률이 60-80μΩcm인 마이크로 전자공학의 접점 재료로 사용됩니다.1000°C에서 형성됩니다.일반적으로 폴리실리콘 라인의 전도성을 높이고 신호 속도를 높이기 위해 션트로 사용됩니다.텅스텐 규화물 층은 기상 증착과 같은 화학 기상 증착에 의해 제조될 수 있다.모노실란 또는 디클로로실란과 육불화텅스텐을 원료가스로 사용합니다.증착된 필름은 비화학양론적이며 더 전도성이 있는 화학양론적 형태로 변환하려면 어닐링이 필요합니다.

텅스텐 규화물은 이전의 텅스텐 필름을 대체할 수 있습니다.텅스텐 규화물은 실리콘과 다른 금속 사이의 장벽층으로도 사용됩니다.

텅스텐 규화물은 또한 미세 전자 기계 시스템에서 매우 가치가 있으며, 그 중 텅스텐 규화물은 주로 미세 회로 제조용 박막으로 사용됩니다.이를 위해, 텅스텐 실리사이드막은 예를 들어 실리사이드를 사용하여 플라즈마 에칭될 수 있다.

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